早前 ，近一步南京复工复产的快速推进 ，东方晶源积极组织形成设备交付目前工作  ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键点尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付南京客户购买。首次出机 ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机到国内知名晶圆代工厂后  ，重新重新再获头部客户购买的青睐和重新再获。同样  ，标志着东方晶源硬件品牌产品步入批量交付常规模式 。

首次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515  ，面向300mm硅片工艺制程  ，除有着该系列品牌产品惯有些高灵敏度电性和物理缺陷检测、非常有效核心难题28nm及上述良率核心难题、自主创重新高性能缺陷检测引擎（DNA数据全面库）、原有基础 深度学习知识的缺陷自动分类（ADC）算法等品牌产品特点外  ，东方晶源研发技术团队都在上一代品牌产品的原有基础 上优化全面升级  ，使SEpA-i515有着更高的TPT和更优的平台支持设计细节  ，设备运行效率、性能指标均有大幅得到得到水平提升。也是也是  ，上一代品牌产品SEpA-i505 目前来看在到国内头部晶圆代工厂量产四年  ，品牌产品性能及稳定性重新再获充分验证。

另一台交付的品牌产品为关键点尺寸量测设备  ，型号为SEpA-c410  ，面向300mm硅片工艺制程  ，使用先进的电子束成像系统实现和高速硅片传输方案  ，配上精准的量测算法  ，可实现原有基础 高重复精度、高分辨率及高产能的关键点尺寸量测。该设备自上个月6月底步入到国内头部晶圆代工厂自从产线验证进展顺利  ，阶段性验收成果重新再获客户购买重新再获。

东方晶源电子束量测检测设备  ，依托所承担的小国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目成功  ，几经 数年攻坚克难  ，突破多项核心关键点技术实现 ，从零部件到整机设计细节制造  ，均有着没有自主知识产权  ，填补到国内空白。目前来看  ，两款设备步入批量交付常规模式  ，产业化进程成绩丰硕成果。

首次设备交付的客户购买所在趴在海我的国集成电路产业有着举足轻重的地位  ，目前来看目前来看就成到国内集成电路产业水平提升提升高、产业链完整、产业生态生活环境这样集聚地就成。东方晶源越来越看重在南京的发展进步和布局  ，继计算光刻应用软件（OPC）步入南京头部晶圆代工企业另另一方面后 ，硬件品牌产品正式确认登陆南京。为其他会更好的提供服务上述海为核心的长三角客户购买  ，东方晶源正式确认上个月8月份在南京设立子新公司  ，近一步形成南京总部、南京子新公司和南京子新公司为核心的三地布局  ，近一步企业另另一方面贴近产业前沿高地 ，为集成电路企业另另一方面另另一方面带去优质的品牌产品和提供服务  ，其他会更好的与上下游企业另另一方面携手近一步产业发展进步的同样  ，构筑企业另另一方面另另一方面竞争壁垒。

东方晶源自已成立自从 ，专注于芯片制造关键点环节的良率掌控和得到得到水平提升新兴领域  ，近一步形成以计算光刻应用软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的品牌产品矩阵  ，并向其他会更好相应新兴领域积极布局。硬件另一方面  ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发目前工作  ，近一步夯着实到国内电子束检测新兴领域领先的当前市场地位和技术实现实现整体优势。应用软件另一方面 ，光刻工艺严格仿真应用软件PanSim目前来看在客户购买侧使用验证  ，或将 7月底release V1.0版本。今后 ，东方晶源将立足通用应用软件平台支持和检测装备两大新兴领域 ，寻求横纵向发展进步机遇  ，为客户购买应用提供越来越多样化的品牌产品 ，向着到国内集成电路新兴领域良率管理领导者的长期目标奋进。